三温区管式炉

三温区管式炉

产品应用：

本设备主要用于半导体行业。设备加热区域采用三段温区独立控制，工作温度区间为500~800C，加热元件为电阻丝加热。炉管尺寸为4220*1300，采用N型热电偶测温。

产品特点：

炉架为整个炉体和炉管等部分提供支撑。整体采用方管焊接而成，保证足够的强度，长时间不变形，整体高约1.4m，长1.整个炉体安装中有防震要求，严格控制退火过程的震动;

加热单元:加热元件采用电阻丝加热;

保温层为优质高纯氧化铝多晶纤维材质，采用日本进口真空吸附成型技术固化成型;

整个炉体由多个加热单元拼接而成，共分成3个控温区;

控温热电偶丝用头部带凹槽的陶瓷保护管，可保护热电偶头部.共3个加热单元3根控温热电偶;

控温采用欧陆2604控温模块;

炉架上放置炉体，炉壳，石英管等设备。55m，宽0.75m，外观简洁美观;

炉壳为长方体结构，主体结构采用方管焊接而成，保证整个炉体有足够的强度，炉壳四周装有封板，外观简洁美观;

整个炉体安装中有防震要求，严格控制退火过程的震动。

核心结构与特性：

加热与保温：电阻丝三面加热，氧化铝多晶纤维炉膛，保温性能佳，升温快且能耗低，重量仅为传统炉的 1/5 左右。

控温与智能：30 段程序控温，PID 自整定，控温精度 ±1℃；支持远程控制、数据记录与报表输出，适配无人值守。

安全与耐用：超温报警并断电、漏电保护、炉门与加热互锁、断偶报警；弹簧门扣补偿高温收缩缝隙，密封可靠。

选型与使用要点：

选型：按样品量选容积，按工艺选升温速率，按气氛需求选通气口配置，按精度选控温模块。

使用：shou次需烘炉除潮；升温速率不宜长期满负荷，避免损伤炉膛与元件；定期检查电阻丝、热电偶与保温层状态。

三温区管式炉设备选型表：